Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung

Martin Knaut erklärt in „Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung“ die Grundlagen der Schichtdickenmessung.

Die Herstellung dünnster Schichten aus der Gasphase kann durch die Schwingquarzmesstechnik überwacht, untersucht und kontrolliert werden. Die Optimierung und Anwendung dieser Technik für die Atomlagenabscheidung (kurz ALD) bildet den Mittelpunkt des vorliegenden Fachbuchs von Martin Knaut. Er analysiert und beleuchtet darin die Grundlagen der Schichtdickenmessung mit Schwingquarzen hinsichtlich der Besonderheiten bei der Verwendung in einem ALD-Prozess. Zudem stellt er in seinem Buch die verschiedenen Einflüsse auf die Resonanzfrequenz eines Schwingquarzes ebenso wie die Möglichkeiten zur Optimierung der Messtechnik dar.

Das Fachbuch „Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung“ von Martin Knaut richtet sich an ein wissenschaftliches Publikum. Experten werden aus Knauts Werk umfangreichen Buch neues Wissen schöpfen oder bereits vorhandenes Wissen vertiefen können.

„Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung“ von Martin Knaut ist ab sofort im tredition Verlag oder alternativ unter der ISBN 978-3-7469-1978-2 zu bestellen. Der tredition Verlag hat es sich zum wichtigsten Ziel gesetzt, jungen und unbekannten Autoren die Veröffentlichung eigener Bücher zu ermöglichen, aber auch Verlagen und Verlegern eine Kooperation anzubieten. tredition veröffentlicht Bücher in allen Medientypen, vertreibt im gesamten Buchhandel und vermarktet Bücher seit Oktober 2012 auch aktiv.

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